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網(wǎng)站首頁(yè) MPS實(shí)驗(yàn)室

封裝: TRESKY全自動(dòng)微組裝系統(tǒng); TRESKY半自動(dòng)微組裝系統(tǒng); F&K Delvotec引線(xiàn)鍵合; F&S Bondtec引線(xiàn)鍵合機(jī); AMADA平行縫焊,儲(chǔ)能焊機(jī); REK真空共晶回流爐

檢測(cè): DAGE焊接強(qiáng)度測(cè)試機(jī); SONOSCAN 超聲掃描顯微鏡; YXLON X射線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng); CYBER三維表面測(cè)量系統(tǒng)

前道: MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng); HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng); Trion等離子沉積，刻蝕; THERMCO擴(kuò)散,退火,LPCVD工藝爐; TEMESCAL精密電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

金剛石/碳化硅: MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品資料

Auto500GB

簡(jiǎn)介：

Auto500GB是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于手套箱集成使用的鍍膜設(shè)備，滿(mǎn)足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應(yīng)用要求。該系統(tǒng)配了一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的真空腔室，可直接與市場(chǎng)上大多數(shù)手套箱集成到一起。可以進(jìn)行電子束蒸發(fā)，熱阻蒸發(fā)等物**相沉積鍍膜。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件，以符合用戶(hù)需求。

產(chǎn)品詳情

真空腔室的前門(mén)可豎直滑動(dòng)開(kāi)關(guān)，嵌入手套箱內(nèi)，并占用很少的手套箱空間；其后門(mén)是鉸鏈扇式開(kāi)關(guān)，能在不影響手套箱內(nèi)氣氛的情況下輕松維護(hù)腔室內(nèi)工藝組件。

鍍膜源選項(xiàng)包括熱阻蒸發(fā)源、精密控溫的有機(jī)蒸發(fā)源、磁控濺射源以及電子束蒸發(fā)源。

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電話(huà)：0512-65952840

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